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内容来源：兔耳朵在线影院所属栏目：导读更新日期：2024-11-30

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XPS技术揭秘：原理到应用 𐟓– XPS基本原理 XPS（X射线光电子能谱）利用X-射线照射样品表面，常用的X-射线源是Al-K𐄧𚿥•色源，能量为1486.6eV。这些射线会激发原子内层能级电子跃迁，电子逃逸出样品表面。由于光电子携带了样品的特征信息（元素信息、化学态信息等），通过测量逃逸电子的动能，就可以得知样品中的元素组成和化学态信息。 𐟔젘PS测试项目常规XPS（全谱加精细谱）俄歇谱价带谱 XPS深度剖析 𐟌ˆ 元素测试范围 XPS可以测试的元素范围是Li-Cm，H、He元素不能测试，放射性元素请提前沟通。 𐟓Š 数据分析 XPS数据分析可以确定元素的价态及半定量数据，但原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号。 𐟔砘-射线源无特殊说明，默认使用单色化Al K𚐯𜈍ono Al K𜉯𜌨ƒ𝩇为1486.6 eV。 𐟓Š 重叠谱峰问题使用Al KX-ray时可能会出现重叠谱峰，当有重叠谱峰时，直接定量的结果不可靠。常见重叠谱峰的情况包括：Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。解决方法包括：分峰拟合后再重新定量；测试其他轨道的峰，需要备注相应的轨道；更换靶材，如使用Mg靶。 𐟔 常见重叠谱峰 Li1s&Co3p B1s&P2s C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2 C1s&K2p O1s&NaKLL O1s&Pd3p3/2 O1s&Sb3d5/2 N1s&Mo3p3/2 N1s&GaLMM Al2p&Pt4f5/2 Si2p&Pt5s Mo3d5/2&S2s Ta4f&O2s Co2p&FeLMM Mn2p&NiLMM W4f&Zr4p Al2p&Cu3p

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